Ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle ZrN kaplamaların farklı Bias voltajlarında üretimi ve karakterizasyonu - Gündüz, Oğuzhan (My University, 2004)
ARK FİZİKSEL BUHAR BİRİKTİRME YÖNTEMİYLE ZrN KAPLAMALARIN FARKLI BIAS VOLTAJLARINDA ÜRETİMİ VE KARAKTERİZASYONU Malzemelerin kullanımında yüzey özellikleri, çok önemli bir yer tutmaktadır. Yüzey özelikleri malzemelerin aşınma, sürtünme, korozyon ve optik özelliklerini etkiler. Yüzey işlemleri ile malzeme performanslarında çok iyi gelişmeler sağlanabilmektedir. Yüzey kaplama yöntemlerinden biri olan FBB (Fiziksel Buhar Biriktirme) yöntemi ile üretilen kaplamalar endüstrinin her alanında gittikçe yaygınlaşan bir kullanım alanı bulmaktadır. Bu kaplamaların üstün tribolojik özellikleri sayesinde takım ömrü verimliliği önemli bir ölçüde artmaktadır. FBB yönteminin düşük sıcaklıklarda uygulanabilirliği, bu tekniğin en önemli avantajıdır. Bu çalışmada, HSS malzemesinden üretilmiş numuneler üzerine farklı bıas parametrelerinde PVD katodik ark buharlaştırma tekniği ile ZrN kaplanmış ve kaplama bıas parametrelerinin ZrN kaplamalarına etkisi incelenmiştir. Daha sonra kaplama kalınlıkları, yüzey pürüzlülükleri ve mikrosertlikleri saptanmış ve X-Ray, Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ve Optik mikroskop analizleri yapılarak sonuçlar değerlendirilmiştir. Sonuç olarak ZrN kaplamalarda en uygun azot basıncı ve voltaj değişimi tespit edilmiştir. Azot basıncı 8 mtorr ve 200 Pulse olarak kaplanması uygun görülmüştür. Temmuz, 2004 Oğuzhan GÜNDÜZ

PRODUCTION AND CHARACTERISATION OF ZrN COATINGS BY ARC PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION TECHNIQUE UNDER DIFFERENT BIASING VOLTAGES The surface characteristics of materials are very important in materials using. The surface characteristics affect wear, friction, corrosion and optical properties of materials. In the materials performance, improvement could be obtained by surface modifications. Physical Vapor Deposition (PVD) technique, which is a surface coating technique, has a vast usage in the industry. It operates effectively on a broad range of substrate materials and produces coatings with superior adhesion and performance. An important advantage of this technique is that it permits adherent coatings to be applied to low temperature substrates. In this study, production and characterization of ZrN coatings by arc physical vapour deposition technique under different biasing voltages are investigated. ZrN thin film coatings were applied on the High Speed Steel (HSS) samples, which were heat treated before coating. The coating thicknesses, hardness, surface roughness and microhardnesses were also determined, and the findings are evaluated after X-Ray, Scanning Electron Microscope (SEM) analysis and optical microscope analysis. As a result, 8 mtorr N pressure and 200 pulse voltage are found as a good combination for ZrN coating.
Keywords: Astarlama ve astarlar; Kaplama; Kimya mühendisliği ve ilgili konular